Profilometro a stilo: uno strumento di metrologia della superficie di contatto ad altissima precisione
Principio di funzionamento
Il profilometro a stilo funziona tramite il contatto fisico diretto tra una sonda con punta diamantata e la superficie del campione. Mentre lo stilo attraversa la superficie, picchi e valli microscopici inducono spostamenti verticali, che vengono convertiti in segnali elettrici tramite sensori. Questi segnali vengono elaborati tramite ponti di misura, amplificazione, rettificazione sensibile alla fase e filtraggio per generare un'uscita a lenta variazione proporzionale al movimento dello stilo, ricostruendo così la topografia della superficie.
Caratteristiche dello strumento
1. Alta precisione
Risoluzione verticale sub-angstrom (≤0,1 nm)
Misura le variazioni di altezza dalle scale micron a nanometriche
Acquisisce dati completi: topografia, rugosità, ondulazione
2. Stabilità eccezionale
Elevata ripetibilità (σ < 0,5% a passo di 1μm)
Misurazioni riproducibili per dettagli topografici sottili
3. Funzionamento intuitivo
Sistema di navigazione opzionale con visione a colori
Tecnologia della sonda magnetica per una rapida sostituzione della punta (<30 sec)
Funzione di autolivellamento e software intuitivo con moduli di calibrazione
4. Capacità multifunzionali
Misura l'altezza del gradino, lo spessore della pellicola, la rugosità, lo stress, ecc.
Supporta le modalità di scansione multizona e 3D
Analisi statistica SPC integrata (ad esempio, calcoli Cp/Cpk)
Campi di applicazione
Industria dei semiconduttori
Misurazione dell'altezza del gradino a film sottile (strati PVD/CVD)
Caratterizzazione del profilo del fotoresist
Quantificazione della velocità di incisione
Monitoraggio CMP (lucidatura chimico-meccanica)
Fotovoltaico
Analisi dello spessore del rivestimento per celle solari
Misurazione dell'altezza del passaggio post-incisione
Ottimizzazione delle prestazioni delle celle perovskite/CIGS
